Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier zeichnete das Team der Zeiss-Sparte Semiconductor Manufacturing Technology (SMT) mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 aus. Die Jury würdigte damit Dr. Peter Kürz (Zeiss), Dr. Michael Kösters (Trumpf Lasersystems) und Dr. Sergiy Yulin (Fraunhofer Institut) für ihren Beitrag zur Entwicklung und industriellen Serienreife der EUV-Technologie, ein extrem ultraviolettes Licht.
Das Forscher-Team von Zeiss, Trumpf und Fraunhofer wurde für die Entwicklung der EUV-Lithographie mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 ausgezeichnet (von links): Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier, Dr. Peter Kürz (Zeiss-Sparte SMT), Dr. Sergiy Yulin (Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik (IOF)) und Dr. Michael Kösters (Trumpf Lasersystems for Semiconductor Manufacturing) (Bild: Deutscher Zukunftspreis/Bildschön)
„Wir freuen uns über den Deutschen Zukunftspreis und sind sehr stolz auf das Team, das hinter der außerordentlichen Entwicklungsleistung der EUV-Technologie steht“, so Dr. Karl Lamprecht, Vorstandsvorsitzender der Zeiss Gruppe. „Gleichzeitig ist der Preis und die doppelte Nominierung eine schöne Bestätigung der Innovationskraft unseres Unternehmens, die den wirtschaftlichen und gesellschaftlichen Fortschritt gleichermaßen fördert.“
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EUV steht für „extrem ultraviolett“, also Licht mit extrem kurzer Wellenlänge. Mit dieser Technologie lassen sich in diesem und dem nächsten Jahrzehnt stetig leistungsfähigere, energieeffizientere und kostengünstigere Mikrochips herstellen. Diese bilden die Basis für Autonomes Fahren, 5G, Künstliche Intelligenz und viele weitere neue Anwendungen, die heute noch nicht vorstellbar sind.
Zeiss-Forschung
Die Preisträger haben einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung der EUV-Technologie als Fertigungsverfahren für die neuesten Chip-Generationen geleistet, das die bisherigen Grenzen des technisch Machbaren überwindet. Das Resultat ist eine durch über 2.000 Patente abgesicherte Zukunftstechnologie, die Basis für den künftigen technischen Fortschritt und die Digitalisierung unseres Alltags bildet.
Der Bundespräsident ehrt mit dem Zukunftspreis Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler für herausragende technische, ingenieur- und naturwissenschaftliche Leistungen, die zu anwendungsreifen Produkten führen. Er ist mit 250.000 Euro dotiert. Neben der wissenschaftlichen Exzellenz ist auch ein klar erkennbarer Nutzen für die Gesellschaft, die Umwelt und für die Wirtschaft kennzeichnend für die Preisträger-Projekte. Zeiss stellte als erstes Unternehmen in der Geschichte des Deutschen Zukunftspreises, der seit 1997 vergeben wird, zwei von den drei nominierten Teams. Der Konzern investiert jedes Jahr über zehn Prozent seines Umsatzes in Forschung und Entwicklung.
